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单晶硅纳米刻划的分子动力学建模

上传者: 2020-07-20 03:09:34上传 PDF文件 528.74KB 热度 14次
单晶硅纳米刻划的分子动力学建模,张俊杰,王站峰,采用分子动力学仿真方法研究单晶硅片纳米刻划加工机理是提高单晶硅片太阳能电池生产效率、使用性能和寿命的一个重要方面。本文从
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