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NaOH浓度对单晶硅的表面反射率和载流子寿命的影响

上传者: 2020-07-19 21:20:25上传 PDF文件 970.18KB 热度 21次
NaOH浓度对单晶硅的表面反射率和载流子寿命的影响,李嘉媛,李洪昊,本文研究了不同浓度氢氧化钠溶液对晶向P型单晶硅的各向异性腐蚀特性的影响,并研究了经过不同浓度NaOH溶液刻蚀对单晶硅片的载�
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