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多次提纯对单晶少子寿命的影响

上传者: 2020-07-23 12:15:32上传 PDF文件 267.32KB 热度 20次
多次提纯对单晶少子寿命的影响,张殿朝,闫萍,本文分析了经过由多次真空区熔提纯后的多晶硅生长出的区熔硅单晶少子寿命较低的各种因素,并通过试验提出了相应的解决措施。
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