基于数值模拟方法的单晶硅表面微构型制造研究 上传者：yuyukaola 2020-07-21 02:53:47上传 PDF文件 1.04MB 热度 29次 基于数值模拟方法的单晶硅表面微构型制造研究，韩雪松，，显微探针技术的突破以及高端MEMS的性能需求促使微纳尺度三维表面结构/构型制造技术的研究不断深入。随着器件尺度的不断缩小，表面� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
