压头曲率半径对单晶硅径向纳动损伤的影响
压头曲率半径对单晶硅径向纳动损伤的影响,张赜文,钱林茂,采用纳米压痕仪,研究了不同曲率半径的金刚石压头在单晶硅表面的径向纳动运行行为和损伤特征。结果表明,相对于尖端名义曲率半径
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