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界面错配对Al掺杂ZnO薄膜形貌和电学性能的影响

上传者: 2020-07-17 02:33:51上传 PDF文件 801.77KB 热度 33次
界面错配对Al掺杂ZnO薄膜形貌和电学性能的影响,许爱燕,羌建兵,本工作采用射频磁控溅射方法在(100)、(110)和(111)Si基底上制备Al掺杂ZnO(AZO)薄膜,研究Si基底取向对AZO薄膜形貌和电学性能的影
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