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Effect of boron underlayer on ordering and orientation of sputtered FePt film

上传者: 2020-07-18 05:25:53上传 PDF文件 396.41KB 热度 15次
硼底层对溅射制备FePt薄膜有序化和取向的作用,李永乐,黄安平,在室温的单晶Si基片上利用磁控溅射制备了带有B底层的FePt多层薄膜,通过真空退火得到了具有硬磁性的L10相。结构和磁性分析表明,B底�
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