Effect of total pressure on crystallinity of boron carbon nitride thin films dep 上传者：宇 2020-07-23 16:40:09上传 PDF文件 485KB 热度 57次 工作气压对磁控溅射法制备硼碳氮薄膜结晶性能的影响，龚恩乐，于杰，本试验用六方氮化硼和石墨靶材采用射频（频率为13.56MHz）磁控溅射法沉积硼碳氮薄膜。得到的硼碳氮薄膜可用红外，拉曼和X射线光电子 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
