一种基于MEMS技术的压力传感器芯片设计.pdf 上传者：qq_32494336 2020-07-16 11:09:12上传 PDF文件 955.32KB 热度 18次 硅压力传感器是利用半导体硅的压阻效应制成, 其品质的优劣主要决定于敏感结构的设计与制作工艺. 文章从硅压力传感器敏感薄膜的选择、敏感电阻条的确定以及敏感电阻位置的选取, 设计了一种方案并进行了实验验证, 得出所设计的压力传感器精度达到0. 1%~ 0. 25% F. S. 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 收藏 腾讯 微博 用户评论 发表评论 qq_32494336 资源：24192 粉丝：0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
