传感技术中的敏芯微电子推出MEMS压力传感器芯片

继推出硅基MEMS麦克风芯片后,苏州敏芯微电子技术有限公司日前又推出了1.4mm×1.4mm×0.7mm外形尺寸MEMS绝对压力传感器芯片,主要针对量程为15PSI的高度表市场,并已开始提供样品。 据敏芯微电子介绍,其MEMS压力传感器芯片典型满量程输出范围为100kPa,在加载电压5V的情况下,满量程灵敏度为100mV,桥臂电阻典型值为5k欧姆,零位输出在+-30mV之间,灵敏度温度系数为-19%FS/100度。敏芯微电子称,其在国内率先独家推出的MEMS绝对压力传感器芯片,可同时兼容开环和闭环桥臂两种应用,极大方便了客户使用。 目前,敏芯微电子可以芯片或晶圆的形式向客户供货,初