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射频磁控共溅射制备LiLaTiZrO薄膜电解质

上传者: 2020-05-23 21:20:07上传 PDF文件 359.93KB 热度 18次
射频磁控共溅射制备Li-La-Ti-Zr-O薄膜电解质,农剑,徐华蕊,以Li0.33La0.56TiO3(LLTO)与Li7La3Zr2O12(LLZO)粉末靶材为溅射源,用射频磁控共溅射的方法制备Li-La-Ti-Zr-O薄膜电解质。在室温条件下,其离�
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