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论文研究 电流密度对电化学刻蚀硅微通道壁厚的影响 .pdf

上传者: 2020-07-17 02:53:54上传 PDF文件 869.74KB 热度 35次
电流密度对电化学刻蚀硅微通道壁厚的影响,王云龙,王国政,电化学刻蚀过程中如何有效控制微通道壁厚,保证硅微通道阵列能等径生长,是一个值得研究的问题。本文基于电化学腐蚀原理,通过一
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