论文研究 电流密度对电化学刻蚀硅微通道壁厚的影响 .pdf
电流密度对电化学刻蚀硅微通道壁厚的影响，王云龙，王国政，电化学刻蚀过程中如何有效控制微通道壁厚，保证硅微通道阵列能等径生长，是一个值得研究的问题。本文基于电化学腐蚀原理，通过一
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