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硅烷流量对电弧离子镀TiSiN 涂层结构和性能的影响

上传者: 2020-05-12 05:47:09上传 PDF文件 995.93KB 热度 32次
硅烷流量对电弧离子镀TiSiN涂层结构和性能的影响,杨兵,田灿鑫,在硅烷气氛中采用电弧离子镀技术制备TiSiN复合涂层。系统研究了硅烷流量对涂层结构和性能的影响。采用透射电子显微镜分析涂层结构�
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