Si含量对TiSixNy超硬涂层结构和性能的影响 上传者：qw77643 2020-05-31 16:28:40上传 PDF文件 416.24KB 热度 23次 Si含量对TiSixNy超硬涂层结构和性能的影响，陆永浩，李明星，本文采用四靶（2个Ti靶和2个Si靶）非平衡磁控溅射沉积工艺，在氮氩混合气氛和500℃基体温度下，通过调节硅靶溅射电流在单晶Si（100）� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 qw77643 资源：416 粉丝：0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
