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热处理对TiSixNy超硬涂层结构和力学性能的影响

上传者: 2020-07-17 07:40:39上传 PDF文件 600.64KB 热度 17次
热处理对TiSixNy超硬涂层结构和力学性能的影响,陆永浩,王俊平,本文采用四靶(2个Ti靶和2个Si靶)非平衡磁控溅射沉积工艺,在氮氩混合气氛和550℃基体温度下,通过调节硅靶溅射电流在M42钢基体上沉
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