热处理对TiSixNy超硬涂层结构和力学性能的影响 上传者：87281 2020-07-17 07:40:39上传 PDF文件 600.64KB 热度 32次 热处理对TiSixNy超硬涂层结构和力学性能的影响，陆永浩，王俊平，本文采用四靶（2个Ti靶和2个Si靶）非平衡磁控溅射沉积工艺，在氮氩混合气氛和550℃基体温度下，通过调节硅靶溅射电流在M42钢基体上沉 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
