论文研究 铜互连双大马士革结构刻蚀清洗工艺中铜腐蚀失效机理及解决方案研究 .pdf 上传者：xin9707635 2020-07-18 01:29:56上传 PDF文件 640.91KB 热度 24次 铜互连双大马士革结构刻蚀清洗工艺中铜腐蚀失效机理及解决方案研究，姬峰，王英，本文针对后段铜互连工艺中出现的图形变异失效，通过物理结构分析确定失效模式为双大马士革结构一体化刻蚀后湿法清洗过程中的铜腐 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 xin9707635 资源：19598 粉丝：0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
