论文研究 微电子专用硅溶胶的纯化机理探究 .pdf 上传者：Xieminsen 2020-07-17 10:04:25上传 PDF文件 427.91KB 热度 24次 微电子专用硅溶胶的纯化机理探究，王娟，刘玉玲，文章首先对微电子工艺中引入杂质的危害进行了阐述，找出现有硅溶胶距离实际应用的不足，发掘其纯化工艺，为微电子用硅溶胶的广泛 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
