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论文研究 微电子专用硅溶胶的纯化机理探究 .pdf

上传者: 2020-07-17 10:04:25上传 PDF文件 427.91KB 热度 8次
微电子专用硅溶胶的纯化机理探究,王娟,刘玉玲,文章首先对微电子工艺中引入杂质的危害进行了阐述,找出现有硅溶胶距离实际应用的不足,发掘其纯化工艺,为微电子用硅溶胶的广泛
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