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衬底温度对MOCVD法制备的Sb掺杂ZnO薄膜的光学和电学特性的影响

上传者: 2020-03-17 14:26:40上传 PDF文件 284.16KB 热度 25次
衬底温度对MOCVD法制备的Sb掺杂ZnO薄膜的光学和电学特性的影响,李硕石,程轶,采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)法,于不同衬底温度下在c面蓝宝石衬底上制备了Sb掺杂的ZnO薄膜,并对薄膜进行了X射线衍射(XRD),霍�
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