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Sb掺杂ZnO薄膜电学、光学性能的研究

上传者: 2020-03-17 14:26:30上传 PDF文件 820.37KB 热度 31次
Sb掺杂ZnO薄膜电学、光学性能的研究,丁萍,潘新花,采用氧等离子体辅助脉冲激光沉积(PLD)法,在n-Si(001)衬底上制备出性能良好的Sb掺杂p型ZnO薄膜,其电阻率为44.18Ωcm,空穴浓度为3.78×
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