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论文研究界面陷阱电荷对高κ叠栅介质电学特性的影响 .pdf

上传者: 2019-09-21 01:20:06上传 PDF文件 411.34KB 热度 23次
界面陷阱电荷对高κ叠栅介质电学特性的影响,刘红侠,张言雷,本文详细讨论了采用原子层淀积技术(ALD)生长的薄膜中界面陷阱电荷对于高k叠栅HfO2/SiO2结构电学特性的影响,通过实验定量分析了界��
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