1. 首页
  2. 编程语言
  3. 其他
  4. 论文研究高κ LaAlO3栅介质的边缘寄生电容效应研究 .pdf

论文研究高κ LaAlO3栅介质的边缘寄生电容效应研究 .pdf

上传者: 2019-09-04 03:57:02上传 PDF文件 906.23KB 热度 26次
高κLaAlO3栅介质的边缘寄生电容效应研究,刘红侠,张昊,本文主要研究了采用高κ栅介质时普遍存在的阈值电压漂移问题。研究结果表明:高κLaAlO3栅介质的应用增加了氧化层的物理厚度,由此�
用户评论