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论文研究SiO2/Si衬底上制备增强型ZnO薄膜晶体管 .pdf

上传者: 2019-09-20 07:05:19上传 PDF文件 426.39KB 热度 40次
SiO2/Si衬底上制备增强型ZnO薄膜晶体管,张景文,侯洵,在NH3和O2的混合气氛下,采用激光分子束外延法(L-MBE)在SiO2/p-Si衬底上制备氮掺杂ZnO薄膜,XRD分析表明ZnO薄膜掺入微量的氮后仍有很高�
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