论文研究SiO2/Si衬底上制备增强型ZnO薄膜晶体管 .pdf 上传者：宛陵秋 2019-09-20 07:05:19上传 PDF文件 426.39KB 热度 61次 SiO2/Si衬底上制备增强型ZnO薄膜晶体管，张景文，侯洵，在NH3和O2的混合气氛下，采用激光分子束外延法（L-MBE）在SiO2/p-Si衬底上制备氮掺杂ZnO薄膜，XRD分析表明ZnO薄膜掺入微量的氮后仍有很高� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
