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论文研究半导体ZnO薄膜晶体管 .pdf

上传者: 2019-09-24 03:14:06上传 PDF文件 399.19KB 热度 30次
半导体ZnO薄膜晶体管,姚绮君,李德杰,本文介绍了一种以射频溅射ZnO材料为有源层的薄膜晶体管。在器件有源层制作中通过气氛控制、添加栅网屏蔽等方法改善器件性能。最终
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