论文研究沟道层金属成分对InZnO薄膜晶体管器件性能影响研究 .pdf 上传者：Xieminsen 2019-09-04 03:57:06上传 PDF文件 279.87KB 热度 38次 沟道层金属成分对In-Zn-O薄膜晶体管器件性能影响研究，姚绮君，李曙新，采用脉冲等离子体沉积技术制备和研究了铟锌氧化物薄膜晶体管。具有优良薄膜晶体管性能的器件其场效应迁移率大于15cm2/Vs以上，开关 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
