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论文研究沟道层金属成分对InZnO薄膜晶体管器件性能影响研究 .pdf

上传者: 2019-09-04 03:57:06上传 PDF文件 279.87KB 热度 17次
沟道层金属成分对In-Zn-O薄膜晶体管器件性能影响研究,姚绮君,李曙新,采用脉冲等离子体沉积技术制备和研究了铟锌氧化物薄膜晶体管。具有优良薄膜晶体管性能的器件其场效应迁移率大于15cm2/Vs以上,开关
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