MEMS器件工艺设计

Name: MEMS器件工艺设计
Rating: 4.5 (60 reviews)
Author: winsunlight

上传者：winsunlight 2019-05-20 01:36:18上传 PPTX文件 1.7MB 热度 60次

该资料为MEMS器件设计工艺的基础,详细介绍了常见MEMS器件工艺流程,具有代表性

下载地址

用户评论

更多下载

下载地址

立即下载

用户评论

MEMS器件工艺设计

该资料为MEMS器件设计工艺的基础,详细介绍了常见MEMS器件工艺流程,具有代表性

大小：0B | 2019-05-20 01:36:18
MEMS器件气密封装工艺规范

讲述微动机械元件的封装制造工艺，介绍各种MEMS的知识。

大小：0B | 2020-05-18 01:46:19
MEMS工艺

大小：0B | 2018-12-31 15:19:06
MEMS器件气密封装工艺规范.zip

MEMS器件气密封装工艺规范zip,MEMS器件气密封装工艺规范

大小：0B | 2020-05-18 01:46:25
MEMS工艺集成

MEMS工艺集成重庆大学光电工程学院编著,总共52页的PPT资料

大小：14.79MB | 2020-11-21 13:33:05
MEMS标准工艺介绍

MEMS标准工艺的详细介绍，对初学者很有帮助

大小：1.57MB | 2020-07-16 22:25:56
典型MEMS工艺流程

本文结合北京大学微系统所的MEMS标准工艺,以一个MEMS中最主要的结构——梁为例介绍一下MEMS表...

大小：39KB | 2020-10-28 02:44:15
ARM与低成本MEMS器件的AHRS设计

基于四元数扩展卡尔曼滤波算法的AHRS具有更新速率高、实时性好、价格低廉的特点，能够广泛应用于手机、...

大小：330KB | 2020-07-20 19:25:40
IC设计基础流程工艺版图器件

IC设计的一些基础入门基础知识，希望有所帮助

大小：0B | 2020-05-25 03:20:49
RF_MEMS开关的工艺制备

微电子机械系统(MEMS)是微电子技术与机械、光学、电子等领域交叉融合的产物，是在IC工艺技术基础上...

大小：0B | 2018-12-28 06:45:15
CMOS工艺常用器件及设计方法

这些是我课程设计时用到的，因为资源真的不好找，所以扣点资源分。希望对半导体集成电路课程设计的同学有所...

大小：0B | 2019-09-03 16:57:56
基于ARM与MEMS器件的微惯性测量装置设计

本设计是一种基于MEMS器件的生物运动微惯性测量装置。利用该装置实现了对SPC-III机器鱼尾鳍拍动...

大小：553KB | 2020-07-17 14:55:59
MEMS惯性器件发展及趋势

MEMS技术最早由Richard Pfeynman(1965年获得诺贝尔物理奖),在1959年提出设...

大小：80KB | 2020-10-28 05:19:17
一种从器件三维实体到工艺版图的MEMS CAD技术

一种从器件三维实体到工艺版图的MEMSCAD技术，徐景辉，常洪龙，别研究了标准三维实体文件和版图文件...

大小：0B | 2020-02-28 17:09:43
北京大学体硅MEMS工艺

为了使表面牺牲层MEMS设计标准化，利用ICCAD根据进行版图设计规则的自动检查，制定出该设计规则，...

大小：0B | 2019-05-28 05:11:48
PCB结构工艺设计及器件布局规范.ppt

PCB 结构工艺设计及器件布局规范,包括热设计要求,基本布局要求,布局操作基本原则。

大小：334KB | 2020-08-09 04:56:02