一种从器件三维实体到工艺版图的MEMS CAD技术 上传者:呵呵到天亮 2020-02-28 17:09:43上传 PDF文件 753.33KB 热度 37次 一种从器件三维实体到工艺版图的MEMSCAD技术,徐景辉,常洪龙,别研究了标准三维实体文件和版图文件的格式,在此基础上提出了一种MEMSCAD中三维实体到工艺版图的转换方法,实现了直接基于文件到� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论