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一种从器件三维实体到工艺版图的MEMS CAD技术

上传者: 2020-02-28 17:09:43上传 PDF文件 753.33KB 热度 17次
一种从器件三维实体到工艺版图的MEMSCAD技术,徐景辉,常洪龙,别研究了标准三维实体文件和版图文件的格式,在此基础上提出了一种MEMSCAD中三维实体到工艺版图的转换方法,实现了直接基于文件到�
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