MEMS器件气密封装工艺规范 上传者:gordon彬 2020-05-18 01:46:19上传 PDF文件 379.95KB 热度 49次 讲述微动机械元件的封装制造工艺,介绍各种MEMS的知识。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论