典型MEMS工艺流程

Name: 典型MEMS工艺流程
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Author: wr67650

上传者：wr67650 2020-10-28 02:44:15上传 PDF文件 38.62KB 热度 50次

本文结合北京大学微系统所的MEMS标准工艺,以一个MEMS中最主要的结构——梁为例介绍一下MEMS表面加工工艺的具体流程。

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典型MEMS工艺流程

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