双束沉积ZrOx薄膜时O+束流密度对其折射率的影响(1993年)
首次报道了双离子束技术制备ZrOz光学薄膜。本文给出了薄膜中氧与锆原子比值组成与沉积过程参数的关系，同时给出了相应的薄膜折射率变化的数据。根据RBS，XPS，X，RD及TEM等微观分析提出了最佳工艺参数的条件。
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