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用离子束溅射淀积的氧化物薄膜的折射率

上传者: 2021-04-19 09:05:21上传 PDF文件 152.28KB 热度 10次
介绍了用于波长为1550nm光通讯波分复用/解复用滤光片的离子束溅射的Ta2O5和SiO2薄膜在法里珀罗多层膜中的折射率的实时拟合方法及拟合结果,给出了它们的淀积时间、淀积速率和计算的光学厚度,分析了这些结果的可靠性.
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