用离子束溅射淀积的氧化物薄膜的折射率 上传者：qq_66214 2021-04-19 09:05:21上传 PDF文件 152.28KB 热度 38次 介绍了用于波长为1550nm光通讯波分复用/解复用滤光片的离子束溅射的Ta2O5和SiO2薄膜在法里珀罗多层膜中的折射率的实时拟合方法及拟合结果,给出了它们的淀积时间、淀积速率和计算的光学厚度,分析了这些结果的可靠性. 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
