MgZnO薄膜的制备及其折射率研究

采用射频磁控溅射法在石英衬底上制备出具有沿c轴择优取向的多晶MgZnO薄膜,通过X射线衍射(XRD)和透射电镜(TEM)分析表明,MgZnO多晶薄膜为单相六角纤锌矿结构。TEM图像还显示出MgZnO薄膜的多晶层状生长趋势。在MgZnO薄膜的光透射谱中出现陡峭的吸收边,由透射谱估算出MgZnO薄膜的带隙宽度为3.66 eV。由透射谱数据计算出MgZnO薄膜的折射率并拟合出折射率的一阶塞耳迈耶尔(Sellmeir)色散方程,薄膜的折射率随波长增加而减小。由色散方程计算632.8 nm波长时薄膜的折射率并与实验测试值比较,两者相差仅为1.6%。