氧化物薄膜的离子束溅射沉积

Name: 氧化物薄膜的离子束溅射沉积
Rating: 4.5 (45 reviews)
Author: luntanwailian

上传者：luntanwailian 2021-04-21 10:00:47上传 PDF文件 587.29KB 热度 45次

用离子束溅射沉积的方法制备的TiO2、ZrO2薄膜的光吸收损耗明显降低,对其折射率、光吸收和抗激光损伤阈值等特性进行了分析.

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