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基于响应面法的单晶硅高速线锯切割力实验研究

上传者: 2023-11-11 22:36:28上传 PDF文件 709.98KB 热度 19次

本文通过对单晶硅高速线锯切割力进行实验研究,采用响应面法(RSM)进行分析。实验旨在深入了解单晶硅在高速线锯切割过程中的力学特性,并通过响应面法的统计方法对切割力进行优化。研究过程中,通过系统实验设计和数据采集,得到了与切割力相关的多个影响因素的实验数据。利用响应面法对这些数据进行建模和分析,揭示了切割力与各因素之间的复杂关系。研究结果为单晶硅高速线锯切割工艺的优化提供了有力的理论支持。

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