多晶硅制备详细流程及图解

一

、高纯多晶硅

1．概述

硅是地球上含量最丰富的元素之～ ，约占地壳质量的

25．8％ ，仅次于氧元素，居第二位。硅在地球上不存在单质状

态，基本上以氧化态存在于硅酸盐或二氧化硅中，其表现形态

为各种各样的岩石，如花岗岩、石英岩等。

硅是一种半导体元素，元素符号为Sj，位于元素周期表

的第三周期第四主族，原子序数为1 4，原子量为28．0 855。

硅材料的原子密度为5．OOx1022／cm。，熔点为1 41 5~C，沸

点为2 355~(2。它在常温(300K)下是具有灰色金属光泽

的固体，属脆性材料。硅材料有多种形态，按晶体结构，可

分为单晶硅、多晶硅和非晶硅