激光晶化制备多晶硅薄膜技术 上传者：qq_84506 2021-02-22 05:29:42上传 PDF文件 690.9KB 热度 38次 激光晶化是一种制作晶硅薄膜器件(如薄膜晶体管、太阳能电池)很有效的技术。展望了低温多晶硅薄膜的应用前景,详细介绍了近几年激光晶化制备多晶硅薄膜技术的研究成果,并就激光对非晶硅作用的原理作了简单讨论。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
