1. 首页
  2. 数据库
  3. 其它
  4. 多晶硅薄膜的Ar

多晶硅薄膜的Ar

上传者: 2021-04-18 01:23:05上传 PDF文件 1.33MB 热度 15次
利用连续Ar+激光使绝缘层上的多晶硅薄膜再结晶.实验结果表明多晶硅晶粒尺寸显著增大,电学性能大为改善,并且与常规的集成电路工艺相容.
用户评论