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多晶硅生产工艺流程

上传者: 2020-12-22 18:30:20上传 DOC文件 15.5KB 热度 11次
多晶硅生产工艺流程,多晶硅最主要的工艺包括,三氯氢硅合成、四氯化硅的热氢化(有的采用氯氢化),精馏,还原,尾气回收,还有一些小的主项,制氢、氯化氢合成、废气废液的处理、硅棒的整理等等。
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