光刻光束线快门实验系统及其快速光电转换 上传者：hopeless3172 2022-11-23 08:30:11上传 PDF文件 126.254 KB 热度 5次 本文阐述了光刻光束线中的快门光栅系统的基本结构和工作原理． 井介绍了光电转换中的一种新方怯—高阻甚，该方法在快速弱光信号的检测中具有实际意义。光刻光束线的基本原理，是从加速器贮存环中的一个窗口引出同步幅射光子流， 取其软X射线部分作为大豌集成电路的光刻光源， 这就要求；2．1．具备快门控期系统， 用于控捌爆光时间。2．2．具备镜扫描功能， 以便将光柬线作均匀展宽， 取而实现较大面积的均匀光刻。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 立即下载 用户评论 发表评论 hopeless3172 资源：9257 粉丝：0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
