角分辨光电子能谱光束线1200 line/mm光栅研制

国家同步辐射实验室新建了覆盖5~40 eV的低能区高分辨率角分辨光电子能谱光束线。其球面光栅单色仪包含了三块光栅,即300,600和1200 line/mm球面层式(Laminar)光栅。采用全息离子束刻蚀工艺,在硅光栅基片上成功地刻蚀出1200 line/mm、占空比0.35、槽深35 nm、有效刻划面积大于120 mm×20 mm的Laminar光栅。在角分辨光电子能谱光束线完成调试的同时,进行了初步的光谱标定及性能测试。波长的刻度和光谱测试直接采用波荡器辐射作为光源,用已知气体的吸收峰做标准来进行标定。测量结果表明:1200 line/mm光栅测量Ar的吸收谱,在29.2 eV附近可得到