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软X光激光用多层膜反射镜的设计与性能模拟计算

上传者: 2021-04-21 08:58:52上传 PDF文件 1.75MB 热度 9次
介绍在研制软X光激光用多层膜反射镜中发展起来的一套设计方法。给出了这类反射镜在现阶段所研究的部分X光激光波长下的设计结果。利用波动光学迭代方法模拟计算了反射镜的性能,并讨论了膜厚控制误差、表(界)面粗糙度等对性能的影响。
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