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软X射线多层膜反射镜界面粗糙度的一种估算方法

上传者: 2021-02-26 07:37:26上传 PDF文件 92.24KB 热度 13次
介绍了描述单个非理想粗糙界面散射的D. G. Stearns法,它适用于软X射线短波段区域.将这种方法应用到多层膜结构,并采用它的数学模型来描述软X射线短波段区域(1~10 nm)多层膜界面粗糙度.在此理论下,对波长为4.77 nm的Co/C多层膜反射镜界面粗糙度进行了分析,估算出该多层镜界面间均方根粗糙度为0.7 nm.
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