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30.4 nm波长处Mg基多层膜反射镜

上传者: 2021-02-22 04:55:49上传 PDF文件 1.22MB 热度 20次
太阳光谱中重要的He-II谱线(波长30.4 nm)的观测对于研究太阳活动和日地空间环境具有重要意义,实现空间极紫外太阳观测需要采用多层膜作为反射元件。研究了工作在30.4 nm的Mg基多层膜。以反射率最高为评价函数设计了多层膜,采用直流磁控溅射技术制备了SiC/Mg,B
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