He Ne激光管反射镜膜层的表面分析

Name: He Ne激光管反射镜膜层的表面分析
Rating: 4.5 (38 reviews)
Author: huangxianfu

上传者：huangxianfu 2021-02-18 00:10:16上传 PDF文件 1.82MB 热度 38次

用XPS、AES、SEM等表面分析方法对He-Ne激光管反射镜膜的元素成分、浓度、价态以及表面形态在寿命过程中的变化作了研究,证明镜膜的损伤和沾污是激光管失效的重要因素。

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