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论文研究 DRT MC SOI LIGBT器件新结构的可实现性初探 .pdf

上传者: 2021-04-20 12:00:02上传 PDF文件 281.43KB 热度 5次
DRT MC SOI LIGBT器件新结构的可实现性初探,张海鹏,邱晓军,本文在介绍了减薄漂移区多沟道SOI LIGBT结构雏形之后,首先初步探讨了这种器件的先进VLSI工艺可实现性;然后比较深入讨论了减薄漂移��
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