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离子束溅射沉积氧化镁薄膜的取向竞争研究

上传者: 2020-07-17 20:09:18上传 PDF文件 752.42KB 热度 29次
离子束溅射沉积氧化镁薄膜的取向竞争研究,李啸,卢会平,用离子束溅射沉积,改变溅射离子束能量、镀膜时间、衬底倾角度,在玻璃衬底上制备了MgO薄膜。用X射线衍射对样品进行了表征,对MgO�
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