聚硅氧烷光波导损耗无损测量图像的消旋及尺寸估计

近年来,由于传统的电互连技术暴露其固有的瓶颈问题,光互连技术成为研究的热点。而有机物光波导以其独有的优势,在光互连中占据了主要地位。聚硅氧烷光波导是最适合850 nm 波段的有机物光波导之一。研究波导的过程中,一直存在着难题:如何实现波导的高精度无损测量。而电荷耦合器件(CCD)无损测量法具有操作简单等优势成为研究的热点。针对CCD 测量法中存在的如何保证测量图像中光的传输方向,保持较高精度水平以及如何较高精度地确定CCD 视场内的波导通光长度问题,提出了聚硅氧烷光波导损耗无损测量图像的消旋理论和方法,以及估计CCD 视场内波导通光长度的理论和方法,并和传统的截断法结果进行了对比,验证了方法的