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低损耗SOI单模脊形光波导的制备

上传者: 2021-02-09 21:57:10上传 PDF文件 1.28MB 热度 11次
表面散射损耗与菲涅耳反射损耗是SOI(Silicon-on-msulator)脊形光波导的主要损耗机理.通过降低光波导损耗的研究,在厚膜SOI材料上制备了长度为20 mm,插入损耗小于2.15 dB的单模脊形光波导.
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