金属 绝缘体 半导体 绝缘体 金属结构二氧化钛紫外光电探测器

通过原子层沉积技术制备了二氧化钛(TiO2)薄膜,并由该TiO2薄膜制备了金属-绝缘体-半导体-绝缘体-金属结构的紫外光电探测器。 同时,在相同条件下还制作了金属-半导体-金属结构的光电探测器以进行比较。 通过测量它们的光响应特性,发现绝缘层的存在对于改善光检测器的响应性是有效的。 改善机理归因于在高电场下在绝缘层中发生载流子倍增。