基于金属 绝缘体 金属微结构的等离子光会聚微腔

随着对低噪声检测的需求的不断增长,检测器的尺寸越来越小,以减小暗电流,同时牺牲了检测效率。 在此,提出了一种金属-绝缘体-金属(MIM)光学微腔来将光从几十微米聚集到几微米,并且几乎不会发散。 测得的透射峰显示出对顶部金属光栅参数的明显依赖性,表明腔体内的表面等离子体激元极化共振。 扫描近场光学显微镜显示出出口Kong周围的输出轮廓。 已经证明了偏振选择性透射。 如果与光电探测器结合使用,则MIM微腔由于其聚光能力,将有可能将探测器的有效尺寸减小到1-2 lm,同时通过保持较大的集光面积来保持高量子效率。