局部表面等离激元增强的高性能AlGaN金属 半导体 金属太阳盲紫外光电探测器

基于AlGaN的太阳盲紫外光电探测器在导弹羽流检测,生化传感,太阳天文学等领域具有诱人的潜在应用。在这项工作中,基于AlGaN的金属半导体金属(MSM)表现出了显着的深紫外探测增强)通过引入来自Al纳米颗粒的局部表面等离子体激元与高Al含量的AlGaN外延层的耦合来实现太阳盲紫外光电探测器。 通过纳米球光刻技术制备的尺寸可控的铝纳米颗粒阵列不仅可以减少探测器的暗电流,而且可以大大提高响应度。 带有Al纳米颗粒的AlGaN基MSM太阳盲紫外光电探测器的峰值响应在20 V偏压下在269 nm处可以达到2.34 A / W,比没有Al纳米颗粒的情况提高了25倍以上。 我们的方法展示了一种高性能,低成本的等离激元增强型AlGaN太阳盲MSM紫外光电探测器的有效制造技术。